東京精密表面粗糙度·輪廓形狀綜合測量機

東京精密表面粗糙度·輪廓形狀綜合測量機

高穩定倍光路型激光干涉傳感器

●應用東京精密的要素技術之一的光纖激光干涉測長系統，開發出分辨率0.31nm的高穩定倍光路型激光干涉傳感器并搭載在產品上。

●動態量程與分辨率之比高達42,000,000 ：1，一次跟蹤即可評價大范圍的輪廓形狀及其隱藏在形狀下面的微細表面形狀，是一款劃時代的產品。

東京精密表面粗糙度·輪廓形狀綜合測量機

在驅動部搭載線性馬達

●憑借線性馬達驅動，實現了高精度·高速移動。

●電子低振動化穩定，可以實現高倍率測定。

只需一次測量即可進行粗糙度和輪廓的分析

●可在保持高精度的同時提高測量效率。大量程

●橫向200mm，縱向13mm，測量范圍大。

●可±45°自動控制驅動部傾斜（SURFCOM CREST-T型號）

規格

項　目 SURFCOM CREST 測量范圍 Z軸（縱向） 13 mm/50 mm 測臂、 26 mm/100 mm 測臂 X 軸（橫向） 200 mm 行程 立柱 500 mm 精度 Z 軸指示精度（縱向） ±0.2+IHI/1000 μm （H ：測量高度 mm）測量分辨率 0.31 nm/50 mm 測臂 X 軸指示精度（橫向） ±0.2+L/1000 μm （L ：測量長度 mm）測量分辨率 0.54 nm 直線度精度※1 0.05+3 L/10000 μm （L ：測量長度 mm）系統精度※1 系統噪音※2 Ra ≦ 2 nm / 0.4 mm Rz ≦ 10 nm /0.4 mm 球頭形狀誤差※3 Pt ≦ 0.1 μm （φ30 mm以下）半徑測量的大允許誤差※4 ≦± 1.0 μm （φ30 mm以下）長度測量的大允許誤差※5 ≦± (1+L/150) μm （L ：測量長度 mm）角度測量的大允許誤差※6 ≦± 0.5 min （±45度傾斜）感應方式 Z 軸（縱向） 高穩定倍光路型激光干涉測長傳感器 X 軸（橫向） 衍射光柵尺速度立柱上下速度（Z 軸） ～ 200 mm/s 驅動部　測量速度（X 軸） 0.03 mm/s ～ 3 mm/s（粗糙度測量時）、0.03 mm/s ～ 20 mm/s（ 輪廓測量時）驅動部　移動速度（X 軸） 0.02 mm/s ～ 60 mm/s 驅動部傾斜 ±45° （T型號）傳感器測針 交換式測量力 0.75 mN 測針半徑 2 μmR 標準配件（ 50 mm 測臂）測針材質 金剛石功能 收縮功能參數電源 電壓、頻率 單相AC100 ～ 240 V ±10 %、 50/60 Hz 氣源 供給壓力0.45 ～ 0.7MPa、使用壓力 0.4 MPa、消耗量8 L/mm（大）外形尺寸（W x D x H） 1405 mm×1050 mm×1851 mm 質量 700 kg